有网友问duv和euv技术区别,今天就给大家讲解一下duv和euv技术区别。
DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。 从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。 只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
以上就是duv和euv技术区别,希望对大家有所帮助。
05-12